委託洗浄サービスの開始 最新鋭のデモ機を活用した各種素材の洗浄サービスを開始致しましたので、ご利用ください。 ・ウェハの再生（300mm/200mm/150mm対応） ・各種マスクブランクス・マスクのレジスト剥離 　及び洗浄（含む EUV MASK by Dry Clean) ・各種MEMS基盤の洗浄 ・静電チャック ・その他 　 世界初「ペリクル グルー自動剥離装置」 （PGR）完成　デモ受付中	ペリクル グルー　自動剥離装機（PGR） デモ機が完成しました。 デモ受付中、是非お試しください。 TASP-MK　マスク用 高密度ソフトプラズマによるレジスト剥離と表面膜改質